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介绍

VEGA第四代钨灯丝扫描电子显微镜，接纳全新的 Essence? 电镜操控软件系统，集成了Essence? EDS 剖析平台，将扫描形貌图像与元素实时剖析集成于同一个扫描窗口中，大大简化了样品外貌形貌的收罗及所含元素的数据剖析事情，使得全新的第四代VEGA SEM成为在样品检测及研究方面的更高效的剖析手段。

大视野光路（Wide Field Optics?）

n在2倍放大倍率视野下，无需导航相机即可轻松实现样品导航。

n大视野无畸变的图像实时视察，可连续放大感兴趣的区域，无需光学导航相机。

n与预倾斜样品台配合使用，关于需要倾斜剖析的样品，支持扫描倾斜校正，从而实现更精准的导航。

实时电子束追踪技术（In Flight Beam Tracing?）

n无需更换光阑调理电子束强度，电子束强度连续可调
；

n一键即可抵达理想区分率的束流

n 中间镜设计（Intermediate Lens^TM）

 Single VacTM 模式

专为视察不导电样品和电子束敏感的样品设计

nVEGA标配全新的 SingleVac? 模式，出厂预设了 SingleVac? 的真空值，无需外貌导电涂层处理，可直接视察不导电样品

nUniVac? 模式（选配）实现压力的连续可调，可变压力可达 500 Pa

n真空缓冲节能单位（Vacuum Buffer）（选配），可显著缩短机械泵的运行时间

n4Q BSE探测器可从差别角度收罗信号

注：VEGA Compact不具备Single Vac^TM 模式

完全集成的Essence? EDS 剖析平台

Essence? 电镜操控软件的简单窗口中即可实现SEM成像和元素身分剖析

n无需第三方附件及链接

n无需进行SEM与EDS图像的位置，标尺及亮度比照度的调理

n无需二次收罗图像

nSEM 图像没有边沿畸变

Essence? 3D防碰撞模块

n3D图像直观显示探测器及样品台的位置

n快速搜索

n操作办法取消，提升操作效率或避免误操作

应用案例